CEC ist auf den Bau von Präzisions-IBS-Beschichtungsanlagen spezialisiert. Die Produkte werden weltweit in der optischen Industrie und in der Forschung eingesetzt. Die Beschichtungsanlagen haben bewiesen, dass sie in der Lage sind, die im Rahmen des Antrages dar-gestellten Schichtdickengenauigkeiten zu realisieren. Dieses wurde an unterschiedlichen optischen Elementen wie „chirped mirrors“ erfolgreich demonstriert. Durch die Erfahrung in der IBS Prozessentwicklung und im Sonderanlagenbau können anwendungsoptimierte Lösungen für das IBS-Beschichten realisiert werden, wie die im Rahmen des Projektes für die Prozessbeschleunigung vorgesehen. Die Fachkompetenz der CEC GmbH erstreckt sich so-wohl über die Technologie und Sicherheitsaspekte, wie auch über die Beschichtungs- und Plasmaprozesse und die notwendigen Komponenten als auch über den Beschichtungsprozess selber. Ein wichtiger Arbeitsbereich ist die Verbesserung der Produktivität der IBS-Technologie, die deren Anwendung im industriellen Umfeld erst effizient macht. Neben dieser Aufgabe übernimmt CEC im Rahmen dieses Vorhabens auch die Koordination des Verbundes.
Cutting Edge Coatings GmbH, Garbsener Landstr.10, 30419 Hannover,
Dr. Kai Starke, 0511/277 1810, starke@cutting-edge-coatings.com
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Das Fraunhofer IST forscht und entwickelt neue Materialien, Schichten und Prozesse mit den Schwerpunkten Beschichtungstechnik und Oberflächenmodifikation. Einen großen Stellenwert nehmen hierbei MS-Sputterverfahren ein. Am IST stehen daneben auch eine Vielzahl von Schicht- und Oberflächenanalyseverfahren zur Verfügung. Bezogen auf HYpO liegen seit mehr als 25 Jahren Erfahrungen und Vorarbeiten in der Herstellung dielektrischer Filter, der Untersuchung grundlegender Schichteigenschaften und der Material-, Schicht- und Prozessentwicklung sowie der in-situ Kontrolle von Schichten vor. Das IST hat im Lauf der letzten Jahre unter anderem eine Beschichtungsplattform für die Produktion optischer Präzisionsfilter (EOSS®) entwickelt, welches erstmals zylindrische, rotierenden Sputterkathoden („Rotatables“) verwendet [7]. Eine vorhandene sowie eine neue, von der Fa. Von Ardenne realisierte EOSS® sind für die Projektdurchführung vorgesehen.
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST, Bienroder Weg 54E, 38108 Braunschweig,
Stefan Bruns, 0531 2155-628, stefan.bruns@ist.fraunhofer.de
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Das LZH entwickelt seit seiner Gründung 1986 Lasertechnologie und Laseranwendungen für die industrielle und wissenschaftliche Nutzung in den Bereichen Laserentwicklung, Optikbeschichtung, Biomedizinische Optik und Lasermaterialbearbeitung. Die Abteilung Laserkomponenten ist seit dem Beginn auf die Entwicklung von optischen Komponenten und deren Herstellungsprozesse spezialisiert. Mit langjähriger Erfahrung im Bereich des optischen Prozessmonitorings, der Schichtwachstumssimulation und der Schichtcharakterisierung bildet die Abteilung die volle Bandbreite ab, um aktuelle reine Materialien über den Hybridansatz für die Optikproduktion weiterzuentwickeln. Insbesondere die Arbeiten zu virtuellen Beschichtungsprozessen und zur Extraktion von optischen Eigenschaften aus simulierten optischen Schichten bilden hier eine wichtige Grundlage für das Projekt.
Laser Zentrum Hannover e.V., Hollerithallee 8, 30419 Hannover,
Dr. Lars Jensen, 0511/2788-257, l.jensen@lzh.de
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Pleiger ist einer der wenigen europäischen Optikhersteller und der einzige in Deutschland ansässige, der Beschichtungen für den IR-Spektralbereich herstellt und verfügt über langjährige Erfahrung in der Produktion und Charakterisierung von optischen Komponenten. Als Herstellungsverfahren werden der Anwendung entsprechend hauptsächlich Verdampfungs-prozesse eingesetzt. Das Unternehmen verfügt zudem über IAD-Prozesse. Im Rahmen des Konsortiums liefert die Firma Pleiger-Laseroptik die Fachkompetenz im Bereich der konventionellen Beschichtungsprozesse, sowie der IR Beschichtungsmaterialien und der Qualitäts-anforderungen für den IR Spektralbereich.
Pleiger Laseroptik GmbH, Im Hammertal 51, 58456 Witten,
Jasmin Fehl, 02324 398-415 Jasmin.Fehl@pleiger-laseroptik.de
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Die Firma SENTECH Instruments GmbH arbeitet seit ihrer Gründung im Jahr 1990 in den beiden Geschäftsfeldern Plasmaprozesstechnologie und Dünnschichtmesstechnik. Mit einem nahezu konstanten Wachstum hat die Firma mit nun 65 Mitarbeitern einen Umsatz von 14 M€ erreicht. Die Mehrzahl der Mitarbeiter verfügt über eine naturwissenschaftliche Ausbildung. Der Arbeitsschwerpunkt von SENTECH in der Dünnschichtmesstechnik liegt auf Ellipsometrie sowie Reflexions- und Transmissionsmessung in dem breiten Spektralbereich DUV, UV, VIS, NIR und MIR. In der Kombination dieser Methoden ist SENTECH Instruments weltweit am breitesten aufgestellt und präsentiert sich aktuell mit der Markteinführung einer neuen Gerätegeneration als innovatives KMU. Im industriellen Umfeld ist SENTECH Instruments besonders erfolgreich, da die Gerätetechnik mit der Möglichkeit der Automatisierung kombiniert angeboten werden kann.
Im Rahmen des Projekts ist SENTECH mit der Entwicklung einer optischen ex-situ und in-situ Messtechnik für Charakterisierung und Kontrolle ultradünner Hybridschichten und Grenz-flächen auf Basis der Ellipsometrie betraut. Dabei kann SENTECH Instruments auf existierende Basismodule in den Spektralbereichen UV, VIS, NIR und MIR zurückgreifen [9].
Sentech Instruments GmbH (SEN), Schwarzschildstraße 2, 12489 Berlin,
Uwe Richter, 030/6392-5520, uwe.richter@sentech.de
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Twenty-One Semiconductors ist ein junges aufstrebendes Unternehmen, das sich auf die Herstellung von kompakten, optisch gepumpten Halbleiterlasern spezialisiert hat. Diese Laserstrahlquellen bestehen aus Kombinationen von optisch aktiven Halbleiterbauelementen, die auf dielektrische Träger gebondet, und anschließend mit einem gekrümmten Auskoppler versehen werden. Diese monolithischen Membran-Lasermodule (MECSEL) sind ideal für medizinisch technologische Anwendungen, wie in optischen Durchflusszytometern für die Analyse von Blut, Knochenmark oder anderen Gewebeproben, geeignet. Nach Prognose des Marktforschungsinstitutes BCC Research wird der Markt für Flusszytometrie 2019 die 3 Mrd. US$-Marke hinter sich lassen. Weitere Anwendung für die Strahlquelle bieten sich in den Bereichen Raman-Spektroskopie oder in der Fluoreszenzmikroskopie. Hier soll der kostengünstige und kompakte Laser die stark in der Ausgangsleistung beschränkten Gas- und Ionenlaser ersetzen. Wichtig für die Leistungsskalierung der MECSEL ist das thermodynamische Management, das hier durch die Anwendung von Hybridbeschichtungen einen verbesserten Wärmetransport, ein optimiertes Indexmatching und reduzierte Schichtdicken erreichen soll.
Twenty-One Semiconductors GmbH (21S), Kiefernweg 4, 72654 Neckartenzlingen
Dr. Roman Bek, 0711/685 69849, roman.bek@21semiconductors.com
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Die VON ARDENNE ging 1991 aus dem Dresdner Forschungsinstitut Manfred von Ardenne hervor. In diesem Institut wurden seit 1955 die technologischen Grundlagen und Komponenten entwickelt und stetig verbessert, die entscheidend für den heutigen Unternehmenserfolg sind. Über 50 Jahre Erfahrung mit Elektronenstrahlverfahren und mehr als 40 Jahre Kompetenz in der MS-Technologie machen ARD zu einem der führenden Anbieter für Glasbeschichtungsanlagen und Systeme für die Dünnschicht-Photovoltaik. Mit ca. 1000 Mitarbeitern weltweit und einem Umsatz von über 200 Mio. € ist ARD mittelständisch geprägt und befindet sich zu 100% in Familienbesitz. Im Rahmen von HYpO wird ARD die anlagentechnischen Voraussetzungen für die Umsetzung der entwickelten Lösungen in eine Produktionstechnik schaffen. Fokus liegt hierbei auf der Magnetron-Sputtertechnik.
Von Ardenne GmbH, Am Hahnweg 8, 01328 Dresden
Michael Schneider, 0351/26379306, Schneider.Michael@vonardenne.biz
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